无尘室（Clean Room），也可称为「洁净室」。是一个严格控制室内之温湿度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布的环境。

而无尘室内的洁净空气，来源是外气（Outside Air），在经过无尘室系统中的各种空气调节和过滤装置进行处理后，才能满足无尘室的洁净要求。其中有三个关键设备：MAU、DCC 和 FFU。

MAU – 外气空调箱

MAU（Make-up Air Unit），也称为外气空调箱，对无尘室环境的影响最大。主要功能是控制露点、制造洁净空气并确保无尘室保持正压。无尘室需要恒温恒湿的新鲜空气，因此必须从室外抽取新鲜空气通过 MAU 进行除尘、湿度控制、温度控制，将空气调节到符合无尘室需求的条件，并替换掉原有的空气。

DCC – 干式冷却盘管

DCC（Dry Cooling Coil），是用于控制室内温度、消除室内各种显热的设备。在无尘室中，这些显热包括了例如人、照明、机械等所产生热量。

而 DCC 可搭配 MAU 提供的出风温度，调整回风管道中的气流温度，这样可以减少循环冷却盘管所需的冰水量，随时调整无尘室的热负载。

FFU – 风机过滤机组

FFU（Fan Filter Unit），是由高效过滤器（HEPA）或超高效过滤器（ULPA）和微型送风机、壳体组合而成的过滤与送风设备，常用于乱流及层流无尘室内，可以想象成是一个自带动力的末端过滤与送风装置，广泛地应用于无尘室当中。

在无尘室中，会由 MAU、FFU 和 DCC 协同工作。外气由 MAU 负责进行预滤、初滤、加湿、除湿、冷却和加热的处理，将微尘初步过滤并控制其温湿度，然后送入无尘室的回风道内。DCC 干式冷却盘管进一步将回风管道中的回风降温至符合无尘室要求的范围。然后 FFU 以超高效过滤网过滤空气，并带动无尘室内的气流循环，带走微尘和热量，实现所需的洁净度和换气量。最后，将洁净空气供应回无尘室内的制造区(Fab)。

通过使用 MAU、DCC 和 FFU 组合系统，可以确保无尘室内的环境达到所需的洁净度标准。了解这些设备的工作原理和特点，可以帮助我们更好地运营无尘室，获得高品质的生产工作环境。

---