微粒的来源分为无机性微粒、有机性微粒、有生命微粒。对人体，易引起呼吸道和肺部的疾病，同时也会使人过敏，病毒感染 ；对硅芯片而言，微尘粒子之附着将造成集成电路线路的变形或短路，使芯片失去运作功能，因此微污染源的控制已成为无尘室管理的重要环节。
洁净室环境控制的重要性在于确保生产过程中的环境条件符合特定的清洁度标准，这对于许多行业来说至关重要。以下是洁净室环境控制的重要性和具体作用 ：
1.1 防止污染：在半导体、制药、医疗设备等行业，微小的颗粒污染物可能导致产品缺陷或失效。通过控制洁净室内的空气质量和微粒浓度，可以有效避免这些污染物对产品造成影响。
无尘室洁净度的维持和控制，除了前期硬件设备投资外也需要良好的“软件”——管理制度来搭配，方能维持良好的洁净度。由上图数据结果来看，作业人员对无尘室内洁净度影响最大，作业人员进入无尘室时尘埃有显著增加，有人员来回走动等动作时洁净度马上劣化，可见洁净度劣化的主要原因是人为因素。
1.2 一致性：洁净室环境有助于维持生产工艺的一致性和可重复性，从而保证产品质量稳定。
就玻璃基板而言，微尘粒子之附着将造成玻璃基板的划伤，短路和贴附气泡等制程品质不良，而造成报废。因此对污染源的控制已成为无尘室管理的重要环节。
外部尘埃侵入及防止
无尘室适当正压保持（>0.5mm/Hg）, 做好前期施工工程保证不漏气，人员、设备、原材料、治工具、耗材等携入无尘室之前必须做好清洁擦拭等防尘动作。同时清洁工具需妥善放置及定时更换或清洁。
无尘室内发尘及防止
隔间板、地板等无尘室材料的适当选用，制程设备的发生控制即定期保养清洁，生产人员人在其位不得随意走动或较大肢体动作，特殊站点采取增加粘尘垫等预防措施。
2.1 减少废品率 ：通过减少生产过程中的杂质和污染物，可以降低废品率，提高成品率，从而提高生产效率。举例来说 ：晶圆生产有 600 个步骤，如果每个程序的良率均为 99%，请问经 600 个制程程序之整体良率为多少？答 ：0.99600 = 0.24%。
为了使一程序在经济考量上具有可行性的，试问每一步骤之良率需多高？
每个制程良率需要达到 99.99% 以上才能满足最终制程良率大于 90%，而微粒子的污染就会直接影响到制程良率。
2.2 加速流程 ：在洁净环境中工作可以减少不必要的清洁和返工时间，使得生产流程更加高效。
3.1 职业健康：对于一些可能释放有害物质的生产过程，洁净室可以防止有害物质扩散到外部环境，保护工作人员的健康。人类发展至今，技术进步、设备进步、知识水平提高，但空气质量却退步了。人一生约吸入 27 万 m3 空气，70% ～ 90% 时间在室内度过。微小颗粒被人体吸入，沉积于呼吸系统。5 ～ 30um 的颗粒沉积于鼻咽部位， 1 ～ 5um 的颗粒沉积于气管及支气管，1um 以下沉积于肺泡壁。
长期处于新风量不足的室内易患“室内综合症”，出现头痛、胸闷、易疲劳的症状，还容易引发呼吸系统和神经系统等疾病。我国国家标准 GB/T18883-2002 规定，新风量不应小于 30m3/h 人。
洁净室的新风量应取以下两项中的最大值 ：
a. 补偿室内排气量和保证室内正压值所需空气量之和。
b. 保证洁净室工作人员所需的新鲜空气。依据 < 洁净厂房设计规范 > 每人每小时新风量不小于 40m3。
3.2 安全生产：通过控制湿度、温度等环境参数，可以避免静电放电等安全隐患，确保生产安全。
4.1 行业标准：许多行业都有严格的洁净度标准（如 ISO 14644），必须在特定等级的洁净室内进行生产。符合这些标准不仅是法规要求，也是企业竞争力的体现。
| 阶段 | 操作过程 | 时间 | 净化程序 | 规范要求 |
|---|---|---|---|---|
| 1级 不清 洁阶 段w |
工程施工和初期环境准备 | 在隔间吊顶、地坪安装之前 | a.每日清除垃圾； b.每日打扫工作区； c.每日检查材料储存，清理垃圾并转到废品储存点； |
a. 禁止在现场吸烟吃、喝、玩。 b. 必须在指定的区域进行焊接，管道的切割或其它的生产操作，且必须放置灭火器。 c. 操作过程中所有的钻孔，切割要使用真空技术。 |
| 2级 清洁阶段 |
隔间、粉刷、吊顶、地坪处理，吊顶施工结束后用彩条布加以维护 | 空调机试车之前 | a. 每日清除垃圾； b. 每日检查材料储存，清理垃圾并转到废品储存点； |
a.洁净室入口进行管制,强制性保安, 2-3个入口； b.所有的材料要先解开原来的外包装，再换用木制或纸制的包装材料； c.清净室内地面每天都要使用吸尘器吸尘，拖把擦拭，墙壁、天花吊顶都要使用抹布擦拭。 |
| 3级 非常 清洁 阶段 |
空调机试车 | 高效过滤器安装之前 | a. 要运到工作区的材料，地板和表面用真空吸尘器清洗； b. 入口处每日用真空吸尘器清洗打扫； c. 洁净室的入口，要放置粘尘地垫。 |
a.仅设一个出入口点,强制保安升级； b.不允许纸制和木制材料进入净化室； c.施工区域进行地面保护； d.现场如果做以下工作，需要有特别批准才可以进行:钻孔，磨削，打磨；锉/切割，管子套丝；焊接；喷涂； |
| 4级 超级 清洁 阶段 |
安装高效过滤器 | 检查之前 | a. 每日至少进行三次真空吸尘器打扫和水洗； b. 进入净化室前，所有工具和设备要进行无尘，无油渍清洗；所有的电线要完好无损； |
a.仅设一个入口点/出口点； b.必须签入，签出登记； c.入口的配备要符合入口规范 d.不允许纸制和木制产品进入净化室； e.工作区域进行地板保护； |
| 5级 持续 清洁 阶段 |
洁净室完成前试运行阶段 | 呈交业主之前 | a.每天做顺擦清洁； b.每日至少进行三次真空吸尘器打扫和水洗； c.没有遮盖的地板每日用真空吸尘器打扫； | a.仅设一个入口点/出口点； c.必须签入，签出登记； d. 配备的入口要符合入口规范； e. 纸板和木制产品不许进入洁净室； f. 现场如果做以下工作，需要有特别批准才可以进行:钻孔，磨削，打磨；锉/切割， 管子套丝；焊接；喷涂； |
针对于洁净工作台、洁净棚、层流传递窗、风机滤网机组 FFU、洁净衣柜、层流罩、称量罩、洁净屏、自净器、风淋系列产品，需要规范对现有产品洁净度检测的方法，提高产品的可信任度。
4.2 认证与审核 ：通过第三方认证机构的审核，获得相关认证（如 GMP、ISO 9001 等），增强客户信任，扩大市场准入。
5.1 研发支持：洁净室为高科技产品研发提供了理想的实验环境，有助于加快新产品的开发进程。
5.2 工艺优化：在严格控制的环境下，更容易观察和分析工艺变化对产品性能的影响，从而推动工艺改进。
6.1 品质保证：拥有高标准的洁净生产设施，可以提升品牌形象，增加客户对产品品质的信任。
6.2 市场竞争力：能够在洁净环境中生产的产品通常被视为高质量和高可靠性的象征，有助于企业在激烈的市场竞争中脱颖而出。
7.1 延长设备寿命：在洁净条件下运行的生产设备和工具不易受到腐蚀和磨损，从而延长使用寿命，减少维护频率和成本。
7.2 降低能耗：通过优化洁净室的设计和管理，提高能源利用效率，减少能耗和运营成本。无尘室运行管理四大原则 ：
1. 不可带入：
HEPA 过滤器的骨架不能漏气。室内必须维持设计之压力。
作业人员必须更衣，经过 Air Shower 后进入无尘室。所有使用材料、设备、工具必须清扫干净后始可带进。
2. 不产生：
人员必须穿着无尘服。减少不必要之动作。
不可使用容易发尘的材料。没有必要的物品不可带入。
3. 不能堆积：
不能有不易清洁、清扫之角落及机器周边。尽量减少外露在室内之风管、水管等。
必须按照标准方法与规定时间实施清洁。
4. 立刻排除：增加换气次数。
在发尘部位附近排气。
改善气流形状以免尘埃附着于产品上。
总之，洁净室环境控制对于确保产品质量、提高生产效率、保障人员健康与安全、满足法规要求、促进技术创新以及增强品牌形象等方面具有重要意义。企业在建设和维护洁净室时应充分考虑这些因素，确保洁净室能够满足生产和研发的需求。
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